高精度微型振镜/压电扫描镜该系统是一个完整的光束控制系统。在紧凑的体积（直径12mm）中包含压电马达、位置传感器、轴承以及内置控制器。在微型振镜上安装了一个镀铝膜的镜子，每秒可旋转1100°，精度可达到0.025°。