纳米精度电动平移台。

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纳米精度电动平移台。

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纳米精度，大行程电动平移台！

所属类别：光机产品/精密定位控制系统 » 电动平移台

技术服务人员：李工(William)

纳米精度电动平移台。

电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

Kaiyun官方App下载中心 推出的电动平移台传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动，*的螺杆品质使平移台拥有的分辨率、定位精度。采用超高等级交叉滚珠导轨，具有超高的运动性能。该系统采用光栅尺闭环控制，在确保大行程的同时，分辨率达到了1nm。按照定位精度区分，我司平移台可分为1nm高精度位移台、5纳米精度和10纳米精度位移台、亚微米精度位移台。

1）1nm高精度电控位移台。

该系类位移台可分为谐波齿轮5相步进电机驱动和普通的5相步进电机两种类型的平移台。采用光栅尺位置反馈闭环控制使其分辨率可达到1纳米，重复定位精度可达到±2nm，可提供20mm、40mm和50mm三种不同的行程，并可以组装成多维电控运动系统。

2）5nm精度电控位移台

该系类产品是一款拥有5纳米定位精度的闭环控制平移台，可提供20mm、40mm、和50mm三个不同的行程，由于采用光栅尺位置编码闭环反馈控制，使其拥有优秀的分辨率、定位精度及重复定位精镀。

3）10nm精度电控位移台

该系类电控位移台是拥有10nm分辨率的闭环反馈定位系统。其采用光学线性位置编码器，在提供大行程的同时，使设备拥有较高的精度。该系类评议台可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的电控位移台。

4）亚微米分辨率电控位移台

该系类位移平台是指分辨率可达到亚微米精度的精密运动系统。该系统也是光学编码闭环控制，精度可达到50-100nm，可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的电控位移台，并可以根据需求组成二维电控平移台。

此外该系列平移台提供在真空条件下的同规格的电控平移台，可承受的真空度可达到10^-4Pa，相当于10^-6torr的真空度。

• 主要特点

• 高分辨率
• 高重复定位精度
• 采用滚珠丝杠，实现高精度定位
• 采用高等级交叉滚珠导轨，具有超高运动性能
• 可提供真空同规格的真空版本平移台

• 主要应用

超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。

• 主要参数：

型号	行程(mm)	最大负(N)	分辨率(nm)	重复定位精(nm)	最大移动速度(mm/s)
AU-FS-1020 SPX（MD）	20	49	1	±2	0.4
AU-FS-1040 SPX（MD）	40	49	1	±2	0.5
AU-FS-1050 SPX（MD）	50	98	1	±2	0.5
AU-FS-1020UPX	20	49	1	±2	5
AU-FS-1040UPX	40	49	1	±2	5
AU-FS-1050UPX	50	98	1	±2	5
AU-FS-1020 SPX	20	49	5	±10	5
AU-FS-1040 SPX	40	49	5	±10	5
AU-FS-1050 SPX	50	98	5	±10	5
AU-FS-1020 PX	20	49	10	±20	10-
AU-FS - 1040 PX	40	49	10	±20	10-
AU-FS - 1050 PX	50	98	10	±20	10-
AU-FS-1100 PX	100	98	10	±20	10-
AU-FS-3150PX	150	98	10	±20	10-
AU-FS-3200 PX	200	196	10	±20	20

亚微米精度电控位移台参数：

型号	行程（mm）	最大负载(N)	分辨率(nm)		重复定位精度(nm)		最大移动速度(mm/s)
			FC-411	FC-111	FC-411	FC-111
FS-1020X	20	49	50	100	±100	±200	10
FS-1040X	40	49	50	100	±100	±200	10
FS-1050X	50	98	50	100	±100	±200	10
FS-1100X	100	98	50	100	±100	±200	10
FS-3150X	150	98	50	100	±100	±200	10
FS-3200X	200	196	50	100	±100	±200	10