皮米精度位移激光干涉仪

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皮米精度位移激光干涉仪

昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其*的测量原理，相对距离的重复精度达到了50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。

皮米精度位移激光干涉仪产品特点：

• 多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用

• 相对距离和绝对距离测量

• 完善的全套系统配置

• 实时输出数字化图像

• 针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案

• 长期使用保证稳定性

• 兼容真空与各种恶劣环境

皮米精度位移激光干涉仪*优势：

• 绝对距离高精度测量！

• 不存在非线性及周期性误差！

• 相对距离信号稳定性<0.05nm！

• 工作距离最大20m（与传感头相关）

• 目标最大速度1m/s

• 三个传感接口，可实现多设备同步

• 探测器分辨率达到1pm

皮米精度位移激光干涉仪应用领域：

• 极限环境下振动分析

• 缓慢漂移及热膨胀检测

• 精密设备位置控制

• 纳米级位移测量

• 层状结构中间隙和边缘的测量

• 位移和振动精度评估

皮米精度位置测量仪参数列表：

干涉仪		传感头
光源	DFB激光器	分辨率	1pm
功率	<400uW	相对距离稳定性	< 0.05nm
波长	1535nm	绝对距离精度	<0.2nm/mm
线宽	<5MHz	带宽	25kHz
传感器通道	3	工作距离	0.1—20m
光纤输入端口	FC Narrow-Key-Slot	目标速度	<1m/s
	Mating Sleeves	传感头	真空
同步	多台设备同步		低温