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可定制气体轴承线性位移台
大行程,高重复精度气体轴承位移台!
所属类别:光机产品/精密定位控制系统 » 电动平移台
可定制气体轴承线性位移台
LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动,无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面,可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
Kaiyun官方App下载中心 推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时,精度可达到300nm,平移台拥有优异的分辨率,重复精度可达到100nm。
此外提供高精度的复杂运动和定位方案:
提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件
Ø整体解决方案
Ø定制化解决方案
Ø复杂的多轴与并联运动系统
Ø超精密空气与机械轴承
Ø软件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……
产品特点:
l优异的重复精度
l超大行程
l采用空气轴承,无需维护
l可按客户要求进行定制
主要应用
l高性能扫描
l光学检测系统
l超精密研磨和切削
l光伏系统
l医疗系统
l同步辐射或X射线
l激光加工
l半导体行业
l晶体处理
产品参数:
Units |
LS100 |
LS200 |
LS300 |
LS400 |
LS500 |
LS1000 |
LS1500 |
|
travel |
mm |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
1000 |
1500 |
load capacity |
kg |
>65 |
>65 |
>65 |
>65 |
>65 |
>65 |
>65 |
accuracy |
μm |
±0.3 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±1.0 |
±1.0 |
repeatability |
μm |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.4 |
flatness |
μm |
±0.2 |
±0.4 |
±0.5 |
±1 |
±1.5 |
±3 |
±5 |
pitch |
μrad |
±4 |
±8 |
±12 |
±13 |
±14 |
±29 |
±39 |
roll |
μrad |
±4 |
±8 |
±12 |
±13 |
±14 |
±29 |
±39 |
yaw |
μrad |
±4 |
±8 |
±12 |
±13 |
±14 |
±29 |
±39 |