纳米精度电动升降台

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纳米精度电动升降台

电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

Kaiyun官方App下载中心 推出的电动升降台传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动，*的螺杆品质使平移台拥有的分辨率、定位精度。采用超高等级交叉滚珠导轨+LM滑轨，在确保了升降台，具有超高的运动性能。该系统采用光栅尺闭环控制，在确保大行程的同时，分辨率达到了10nm。按照定位精度区分，我司电动升降台可分为10纳米精度位移台和亚微米精度位移台两种类型。

1）10nm精度电控升降台

该系类电控位移台是拥有10nm分辨率的闭环反馈定位系统。可以提供沿垂直方向的精密移动与定位。其采用光学线性位置编码器，在提供大行程的同时，使设备拥有较高的精度。该产品采用滚珠丝杠驱动和LM滑轨+交叉滚珠导轨导向，确保了升降台的精度及线性度。目前该产品提供5mm和10mm两种不同行程的电控位移台。

2）亚微米分辨率电控升降台

该系类位移平台是指分辨率可达到亚微米精度的精密运动系统。该系统也是光学编码闭环控制，精度可达到50-100nm，可提供5mm和10mm不同行程的电控位移台。

此外这两种版本的升降台可提供真空条件下使用的版本，可适用的的真空条件为10-4Pa，真空度约为10-6 Torr。

• 纳米精度电动升降台主要特点

• 高分辨率
• 高重复定位精度
• 采用滚珠丝杠，实现高精度定位
• 采用高等级交叉滚珠导轨，具有超高运动性能

u主要应用

超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。

• 主要参数：

亚微米电控平移台参数：

型号	行程（mm）	大负载(N)	分辨率(nm)		重复定位精度(nm)		大移动速度(mm/s)
			FC-411	FC-111	FC-411	FC-111
AU-FS-1005Z	5	49	50	100	±100	±200	5
AU-FS-1010Z	10	49	50	100	±100	±200	5

纳米电控平移台参数：

型号	行程（mm）	大负载(N)	分辨率(nm)	重复定位精度(nm)	大移动速度(mm/s)
AU-FS-1005PZ	5	49	10	±20	5
AU-FS-1010PZ	10	49	10	±20	5