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压电旋转平台

简要描述:AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。这使的该系列旋转台成为市面上Z精确地产品。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有*的分辨率和可重复性。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-06-02
  • 访 问 量:2189
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    详细介绍
    供货周期 一周

    AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。这使的该系列旋转台成为市面上zui精确地产品。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有*的分辨率和可重复性。

    Kaiyun官方App下载中心 推出的压电旋转台按照使用马达的不同可以分为两类。

    1)使用超声波马达驱动的旋转台,AU-XRT-U系列。

    AU-XRT-U系列是由超声波压电马达驱动的紧凑而精确的旋转台。其与空气轴承旋转台拥有相媲美的旋转精度和误差但是却拥有更小的体积和更低廉的价格。与其它压电技术相比超声波压电电机拥有更长的使用寿命、更低的功耗并且无噪声。并且集成了光学编码器闭环控制,精度zui高可达到0.0002°,速度zui大可达到1080°/s。该系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40两款旋转台。

    Fig1 运动误差测量

    Fig2 AU-XRT-U

    2)滑块式压电马达驱动旋转台AU-XRT-A.

    AU-XRT-A采用滑块式压电马达驱动,利用轴承技术,即使在旋转过程中也可以主动将径向误差运动补偿,这使得其成为市场上*的zui为精确的压电旋转台,AU-XRT-A的径向误差小于500nm,可以与空气轴承精度相媲美,并且体积紧凑价格低廉,并且可以提供真空和磁性应用的产品。

    Fig3. 运动误差测量

    Fig4.AU-XRT-A旋转台

    主要特点

    l高精度(200μ°)

    l高速度(1080°/s)

    l可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用

    主要应用

    l微型CT扫描仪

    lX射线衍射系统

    l电子显微镜

    l同步加速器

    l计量学

    产品参数:

    AU-XRT-U30

    AU-XRT-U40

    AU-XRT-A

    Drive principle:

    ultrasonic piezo motor

    stick-slip

    Radial error motion:

    < 5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB)

    down to 500 nm

    Axial error motion:

    < 3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB)

    < 1 µm

    Tilt (wobble):

    < 50 µrad (-PB)

    < 100 µrad

    Load capacity:

    < 1 kg

    ≤ 1 N (100 g)

    Aperture:

    7mm

    10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor

    Driving torque:

    14 Nmm

    20 Nmm

    Holding torque:

    7 Nmm

    10 Nmm

    Speed:

    from 8 m°/s up to 3 rev/s

    ± 2 rpm

    Resolution:

    6.25 m° (-S)

    6.25 m° (-S) or 200 µ° (-P)

    6.25 m° (-S)

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