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光束偏转解决方案汇总

在激光应用中，我们经常需要对激光光束进行偏转控制。光束偏转控制主要分为机械式与非机械式两种方式。衡量光束偏转器件的性能指标，主要有偏转速度、偏转角、角度分辨率、光损耗、适用的光波段范围、损伤阈值等。

昊量光电提供各种实现光束偏转的解决方案，包括一维偏转与二维偏转，机械式光束偏转与非机械式光束偏转，提供的器件包括：振镜、多面转镜、MEMS扫描镜、声光偏转器、电光偏转器、液晶相控阵、液晶偏振光栅等。

光束偏转激光光束偏转光束偏转控制 Beam Deflection, Beam Steering

在激光应用中，我们经常需要对激光光束进行偏转控制。光束偏转控制主要分为机械式与非机械式两种方式。衡量光束偏转器件的性能指标，主要有偏转速度、偏转角、角度分辨率、光损耗、适用的光波段范围、损伤阈值等。不同的光束偏转方案在以上性能指标上都有各自的特点，分别适用于不同的应用。

不同的应用对光束偏转的要求不尽相同。而不同的光束偏转器件有着不同的特点，主要体现在适用波长范围、偏转角度大小、偏转速度、通光孔径、角度分辨率、损伤阈值等。基于多年的经验积累与各种光束偏转方案的专业知识，昊量光电根据客户的要求，可推荐提供合适的光束偏转解决方案。

各种光束偏转方案主要参数：

器件名称	适用波长范围	zui大偏转角度	zui快偏转速度	损伤阈值	主要特点
振镜	355nm~12um	~40度	亚毫秒级	中等	精度高
多面转镜	355nm~12um	360度	亚微秒级	很高	速度快损伤阈值高
MEMS扫描镜	425nm~1600nm	70度	微秒级	>2W (可能更高，取决于镜面大小与工作波长)	体积小、重量轻、功耗低、偏转角度大、与驱动电压线性度好
声光偏转器	266nm~1100m	88毫弧度	<5us	50MW/cm^2	无机械振动速度快性价比高
电光偏转器	240~1100nm	4-5毫弧度	100MHz（3.5ns上升下降沿）	500W/cm²for CW Laser 150MW/cm²for Pulsed Laser	高速度线性精确可控用在生物成像光镊等领域
液晶相控阵	400~1620nm	±7度@1550nm	>500Hz	10W/cm2 for CW laser 10MW/cm2 for Pulsed Laser	偏转角度大，效率高
液晶偏振光栅	458nm~1550nm	+/-40度	<1ms	/	通光孔径大、偏转角度大、效率高、结构简单