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4D位置敏感探测器（4D PSD）

此4D PSD位置敏感探测器，采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合，能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移，分辨率达到nm级别。

4D位置敏感探测器（4D PSD）

PSD 4D i: PSD位敏探测器（工业级）

Ø4维测量：位置X，Y和角度X，Y

Ø连续光和脉冲激光器

(检验光束功率，连续光：100μW-10 mW，脉冲：>10 nJ)

Ø高精确度：< 1μm，< 1μrad

PSD 4D e: PSD位敏探测器（实验级）

Ø类似"PSD 4D i"，但是离散元件PSD4D i

Ø易于适应实验装置和更高的精确度：< 10 nm，< 10 nrad

PSD 2D: 2DPSD位敏探测器(连续光或脉冲)

Ø独立使用，或组合成4维PSD使用

Ø标准波长：380nm-1100nm

Ø定制波长：180 nm-2600 nm

PSD紫外增强型晶片组

Ø升级PSD 4D到紫外/极紫外

ØPSD晶片组直径4mm, 10mm

配套产品：

产品名称：快速反射镜
所属类别： » 应用解决方案 » 激光稳定系统（光束指向/频率/功率）

产品简介：微步进电机与PZT压电陶瓷驱动的超大扫描角度的复合轴快速反射镜。此快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构，不仅拥有电机驱动的大量程的特点，又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点，极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。关键词：快速反射镜，快速控制反射镜，FSM，快速倾斜镜，快速倾斜反射镜，PZT驱动快速控制反射镜，压电陶瓷驱动快速反射镜快速反射镜德国

产品名称：激光束指向稳定系统
所属类别： » 应用解决方案 » 激光稳定系统（光束指向/频率/功率）

产品简介：激光束指向和位置稳定系统，全自动反馈补偿，zui高反馈精度<10nm,<10nrad，大幅提高激光指向稳定性和激光加工精度。关键词：激光指向稳定，激光光束指向稳定，光束指向稳定，激光位置指向稳定，光束准直，激光自动对准,激光准直，激光漂移补偿，激光束指向和位置稳定系统，光束指向和位置稳定，激光精密加工，激光通讯,调光锁定系统，激光光束定位系统，激光光束定位稳定系统激光束指向和位置稳定系统德 …